PSA -Sauerstoffgenerator für Halbleiter

Gasversorgung mit hoher Purity:Die Semiconductor-Herstellung hat strenge Anforderungen an die Gasreinheit, und hoher Sauerstoff ist für Lithographie, Reinigung und andere Verbindungen unverzichtbar. Mithilfe der Druckschwingenadsorptionstechnologie erzeugt der PSA -Sauerstoffgenerator Sauerstoff mit einer Reinheit von 95%± 3%, was den Anforderungen der Oxidschichtbildung und der Waferreinigung entspricht und das Risiko einer Verunreinigung der Verunreinigung der traditionellen Gaszylinder -Sauerstoffversorgung vermeidet.
Verarbeitungsstabilität sicherstellen:Halbleiterproduktionslinien erfordern eine kontinuierliche und stabile Gasversorgung. PSA Sauerstoffgenerator verwendet doppelte Adsorptionstürme, um abwechselnd zu arbeiten, und durch SPS -intelligente Kontrolle kann er {24- Stunde ununterbrochener Sauerstoffversorgung erreichen, vermeiden, dass durch den manuelle Flaschenersatz verursachte Produktionsunterbrechungen verursacht werden, und sich an Prozesse anpassen, die für Luftdruck wie Dünnfilmablagerung und -ketsching empfindlich sind.
Kosten senken und den Raum optimieren:Im Vergleich zu flüssigen Sauerstoff-Lagertanks und Hochdruckgasflaschen produzieren PSA-Sauerstoffgeneratoren Sauerstoff vor Ort und senken die Transport- und Lagerkosten erheblich. Es hat einen kleinen Fußabdruck und unterstützt die modulare Expansion, die den Bedürfnissen der Maximierung der Raumnutzung in sauberen Workshops von Halbleiterfabriken entspricht. Die langfristigen Nutzungskosten liegen bei etwa 20% niedriger als die herkömmliche Methode.
Sich an besondere Prozesse anpassen:In fortschrittlichen Prozessen erfordern einige spezielle Prozesse eine präzise Kontrolle der Sauerstoffkonzentration. Der PSA -Sauerstoffgenerator kann die Sauerstoffausgangsreinheit (95%-99}. 9%) flexibel einstellen, indem der Adsorptionsdruck und das molekulare Siebverhältnis angepasst werden, um die speziellen Prozessanforderungen der 3D -NAND -Flash -Speicherherstellung zu erfüllen.
Umweltfreundlich und leicht zu pflegen:Die PSA -Technologie erfordert keine chemischen Reagenzien, und der Sauerstoffproduktionsprozess schlägt keine schädlichen Substanzen aus, die den Umweltschutzstandards der Halbleiterindustrie entsprechen. Die Ausrüstung verwendet molekulare Edelstahl- und selbstverpackte molekulare Sieben mit Lebensmitteln mit einem Wartungszyklus von bis zu 3-5 Jahren und eignet sich für die Herstellung von Herstellern von Hochverrückung.